设备能力
温控精度:±1℃
横向跨板温差:±2.0℃
温度控制范围:25-300℃
制程能力
对应板宽:50-400mm
支持网带传送,链条传送
较宽的工艺窗口适应多种曲线要求
过板元件高度Top30mm Bottom 30mm
支持氮气系统
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设备能力
温控精度:±1℃
横向跨板温差:±2.0℃
温度控制范围:25-300℃
制程能力
对应板宽:50-400mm
支持网带传送,链条传送
较宽的工艺窗口适应多种曲线要求
过板元件高度Top30mm Bottom 30mm
支持氮气系统
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